Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Авторы книги - Игорь Леонидович Житяев, Александр Михайлович Светличный. Произведение относится к жанру современная проза. Год его публикации неизвестен. Международный стандартный книжный номер: 9785927523955.
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».